ULVAC 愛發科 渦輪分子泵 日本現貨 原裝

ULVAC 愛發科 渦輪分子泵 日本現貨 原裝

特點

• 輔助泵可以選擇：輔助泵除了可以選擇搭載油回轉泵的標準型以外，還可以選擇搭 載干泵的規格。

• 優良的停電對策：前級閥門為標配的電磁閥，防止停電時候逆流發生故障。

• 可確認粗抽狀況：標配有皮拉尼真空計，可在粗抽排氣過程中確認壓力

• 可排氣至UHV區
  安裝選購配件的烘烤加熱器并進行脫氣處理，可以排氣至UHV區。

YTP系列Ver.B是搭載陶瓷球軸承型渦輪分子泵的高真空排氣單元。
可實現從大氣壓到高真空的排氣。
產品陣容中既有可通過START/STOP開關自動排氣的SA型，也有手動操作的M型。
此外，輔助泵的標準規格為油回轉泵，也可選擇干式渦旋泵的干式規格。

特點

• 輔助泵可以選擇：輔助泵除了可以選擇搭載油回轉泵的標準型以外，還可以選擇搭 載干泵的規格。

• 優良的停電對策：前級閥門為標配的電磁閥，防止停電時候逆流發生故障。

• 可確認粗抽狀況：標配有皮拉尼真空計，可在粗抽排氣過程中確認壓力

• 可排氣至UHV區
  安裝選購配件的烘烤加熱器并進行脫氣處理，可以排氣至UHV區。.

• YTP系列Ver.B是搭載陶瓷球軸承型渦輪分子泵的高真空排氣單元。
  可實現從大氣壓到高真空的排氣。
  產品陣容中既有可通過START/STOP開關自動排氣的SA型，也有手動操作的M型。
  此外，輔助泵的標準規格為油回轉泵，也可選擇干式渦旋泵的干式規格。