可以在一次測量中測量每個電鍍時間(膜厚)的應(yīng)力。還可以測量在已經(jīng)鍍覆的膜上再次進(jìn)行鍍覆時的應(yīng)力。可以測量傳統(tǒng)應(yīng)力計(jì)無法檢測到的微小應(yīng)力。將專用應(yīng)力計(jì)板插入精密電鍍電源YPP系列的插槽中。
特征
● 符合JIS H8626標(biāo)準(zhǔn)。
● 甚至可以測量微弱的壓力。適用于測量薄膜、晶圓等弱產(chǎn)品。(可準(zhǔn)確測量0.5μm以上的膜厚)
● 可測量其他方法無法測量的初始應(yīng)力。
● 適用于精細(xì)零件。
● 傳感器獲得的數(shù)據(jù)立即輸入連接電源的PC,PC自動計(jì)算應(yīng)力值,無需任何計(jì)算。此外,使用計(jì)算機(jī)實(shí)時顯示和累積測量的數(shù)據(jù)。
輸入電壓 | AC100~200V±10%(50/60Hz±5%) |
輸出電壓/輸出電流 | DC0~15V/0~10A |
最小分辨率 | 1mA/10mV/0.1mC |
溫控功能 | 1KW(ON/OFF控制/PID控制) |
體重 | 8.8公斤 |
兼容操作系統(tǒng) | 兼容Windows8,10 |